Target Sputtering Tembaga Kemurnian Tinggi – Persegi (4N-6N)
Target Sputtering Tembaga Kemurnian Tinggi – Pernyataan Proses & Jaminan Mutu
Target sputtering tembaga persegi kami diproduksi dengan standar ketat yang diperlukan untuk pengendapan lapisan tipis yang andal dalam proses pelapisan canggih.
Proses produksi mengikuti alur kerja berbasis vakum yang terkontrol ketat untuk menjaga kemurnian ultra-tinggi dan konsistensi material:
●Pemilihan Bahan Baku: Hanya katoda tembaga elektrolitik bersertifikat (≥99,99%) yang digunakan sebagai bahan awal.
●Peleburan Vakum: Peleburan induksi di bawah vakum tinggi atau atmosfer inert meminimalkan penyerapan oksigen dan pengotor yang mudah menguap.
●Pencetakan & Pemurnian: Pembekuan terarah yang terkontrol menghasilkan ingot dengan komposisi homogen dan segregasi minimal.
●Pengerjaan Panas: Penempaan atau pengepresan panas menghasilkan kepadatan mendekati teoritis dan struktur butiran yang halus.
●Pemesinan Presisi: Penggilingan dan penggerindaan CNC menghasilkan dimensi persegi yang akurat dengan permukaan yang rata dan sejajar.
●Penyelesaian Permukaan: Pemolesan multi-tahap menghasilkan hasil akhir seperti cermin yang cocok untuk penggunaan di ruang bersih.
●Pengikatan Opsional: Pengikatan indium atau elastomer ke pelat pendukung molibdenum/tembaga tersedia untuk manajemen termal.
●Pembersihan Akhir & Pengemasan: Pembersihan ultrasonik dalam air ultra-murni, diikuti dengan penyegelan vakum dalam kantong bersih dua lapis.
Sistem Kontrol Mutu
● Ketelusuran penuh dari lot katoda mentah hingga produk jadi.
● Sertifikat material dan laporan pengujian disertakan dalam setiap pengiriman
● Penyimpanan sampel arsip ≥3 tahun untuk verifikasi pihak ketiga (SGS, BV, dll.)
● Inspeksi 100% terhadap parameter kritis:
• Kemurnian dan pengotor (analisis GDMS/ICP-MS; oksigen tipikal <10 ppm)
• Pengukuran kepadatan (metode Archimedes; ≥99,5%)
• Ukuran butir dan mikrostruktur (pemeriksaan metalografi)
• Akurasi dimensi (CMM; kerataan ≤0,05 mm tipikal)
• Kekasaran permukaan dan cacat (profilometer + inspeksi visual)
● Spesifikasi internal melebihi persyaratan ASTM F68. Sifat-sifat umum: Konduktivitas termal >390 W/m·K, Resistivitas listrik <1,7 μΩ·cm, Laju sputtering dan kualitas film yang konsisten.
● Proses yang kompatibel dengan ruang bersih dan fasilitas bersertifikasi ISO 9001:2015 memastikan setiap target memenuhi kebutuhan yang menuntut dari aplikasi PVD modern.










